نقد و بررسی
ویفر سیلیکونی با لایه Si3N4در صنعت نیمه هادی، لایه‌های سیلیکون نایتراید به عنوان ماده دی الکتریک، لایه محافظت کننده استفاده شده و یا به عنوان ماسک سخت به کار می‌روند.
در صنعت نیمه هادی، لایه‌های سیلیکون نایتراید به عنوان ماده دی الکتریک، لایه محافظت کننده استفاده شده و یا به عنوان ماسک سخت به کار می‌روند. از کاربرد‌های این نوع ویفر‌‌ها می‌توان به ریز ماشین کاری، ساخت غشا، MEMS و … اشاره کرد.
0دیدگاه